液槽式高效空气过滤器在洁净室当中就是给DOP液槽式高效送风口配套使用到，这种高效空气过滤器的检漏测试是把0.3um的尘埃粒子施放在高效空气过滤器上游，然后在高效空气过滤器表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无漏点。检漏测试有以下几种不同的方式：
 
1、气胶光度计(Aerosol Photometer)是微粒计数器的一种，它在扫描空气样本之后所给的是通过过滤器微粒的总体强度，不是微粒数目。
 
2、MPPS(小粒径穿透法)，采用当前国内先进的U-TEST一体式检测设备。一次发尘，一次检漏，一次性出具完整检测报告（包含风量，初阻力，终阻力，效率等等）。

液槽式高效空气过滤器图片：